低温各向同性热解炭性能和结构变化

Structure and Properties of Low Temperature Isotropic Pyrocarbon

研究低温各向同性热解炭密度、显微硬度和孔隙结构随沉积条件的变化规律。用准稳态流化床化学气相沉积（FBCVD）工艺制备低温各向同性热解炭,并采用密度计、显微硬度计、扫描电镜、透射电镜、压汞仪等分析热解炭材料的密度、显微硬度、孔隙结构。结果表明：随着沉积温度和丙烷气体浓度的升高,热解炭的密度和显微硬度逐渐降低,沉积温度和丙烷气体浓度能够显著影响热解炭的形貌和孔隙,进而影响热解炭的密度和硬度;相似密度热解炭的孔隙结构也不相同,高密度热解炭的孔隙主要是由生长特性间的孔隙组成,这些孔隙的多少对高密度热解炭的密度有较大影响,沉积条件为中低沉积温度（1 250-1 350℃）和中低浓度丙烷气体（25%~40%）得到的各向同性热解炭结构均匀,孔隙较少,密度较高,硬度较大。