反馈式微环谐振光学传感器

微环谐振腔具有高品质因数、低成本的特点、易于同其它光电芯片和微流控芯片集成,进行化学表面处理。谐振效应的引入能够在提高传感器灵敏度的同时大大缩小器件的尺寸。本文通过定性分析相关参数的改变对输出光谱的影响机制,并计算传感器的灵敏度,找出最佳的参数,作为该结构的最终优化参数。运用模式耦合理论和传输矩阵方法,推导归一化输出光强的表达式,并用相关软件模拟归一化输出光强与各参数的关系。耦合系数,传输因子以及谐振腔的有效传输长度等对传感器的灵敏度有很大的影响。