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世界第一个1μm^2的SRAM单元
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摘要
Intel 公司研究人员研制成世界上最小的 SRAM 存储单元,仅有1μm^2。做成存储器芯片方阵的这些单元是全功能 SRAM 器件的部件,采用 Intel 公司新一代90nm工艺技术制作。这一成就成为实现2003年新生产工艺技术的目标。Intel 公司1μm^2 SRAM 单元为硅工艺技术建立了一个新的密度标准。
作者
江兴
出处
《半导体信息》
2003年第1期34-34,共1页
Semiconductor Information
关键词
存储单元
存储器芯片
生产工艺技术
硅工艺
使人
光刻技术
分类号
TP333 [自动化与计算机技术—计算机系统结构]
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