Palomar拓展MEMS封装应用系统

Palomar 科技公司是一家自动化组装系统制造商,该公司将其3500—(?)组装系统应用于 MEMS 微电机械系统封装领域。该公司的 MEMS 封装系列具有 X 轴、Y 轴和 Z 轴上5微米以及0.2毫弧度偏转的精确范围,它提供晶圆生产的部件组装性能,可应用于特定工具或自动化处理。