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东芝建设300mm生产线

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摘要 日本东芝近日宣布其一条300mm生产线的详细建设计划,该生产线准备生产逻辑集成电路。新生产线于2003年6月动工,于2004年秋投产。这一投资计划于2002年12月首次公布。新生产线的净化间面积为1.57万平方米,月产能达到1.25万片。
作者 盛柏桢
出处 《半导体信息》 2003年第3期17-17,共1页 Semiconductor Information
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