清华大学研制出同位素纯硅外延片

日前,清华大学工程物理系技术物理研究所利用离心分离技术获得了同位素纯硅—28,并与本校微电子所合作,在普通硅片上外延成单晶状硅—28薄膜,并采用这种特殊的硅片研制出两种基本的微电子元件,产品的相关特性正在测试当中。据了解,目前用于半导体集成电路制造的硅片均由天然硅制成。