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IBM发布半导体制造新技术
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摘要
《亚太电子商情》2003年10月报道:IBM日前发布了两项可提高半导体元件性能、降低耗电量的半导体制造技术。一项是可直接将应变硅和硅及绝缘膜结构(SDI)相组合的SSDOI技术,另一项技术是在生产互补金属氧化物半导体(CMOS)时,在同一晶圆上使用2种硅基层。对于应变硅,可通过延展锗化硅的低层和最上方的硅层,提高电子迁移率。
作者
郑冬冬
出处
《半导体信息》
2003年第6期24-25,共2页
Semiconductor Information
关键词
半导体制造
IBM
电子迁移率
绝缘膜
半导体元件
空穴迁移率
科技开发
使用标准
副总裁
分类号
TN305 [电子电信—物理电子学]
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半导体信息
2003年 第6期
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