新型射频—微机电系统开关

利用MEMS技术,将射频一微机电系统(RF—MEMS)开关集成在SoC内,新的射频开关有望提高移动电话及类似终端的性能。 RF—MEMS开关的活动器件由一个氮化硅横梁(400μm×50μm)组成,粱两端固定,且两端都含有氮化钛加热电阻器、静电保持电极和一个铝块。最初,横梁与其下面3μm空隙内运行的射频信号线路保持分离。当在电阻加热器上施加一个2V低压时。