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首条八英寸硅单晶抛光生产线在北京建成

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摘要 据新浪网消息,我国第一条可满足0.25微米线宽集成电路需求的8英寸硅单晶抛光生产线,已在北京通过国家验收。这对满足我国半导体器件市场需求,促进深亚微米集成电路的技术进步,具有现实意义。
作者 章从福
出处 《半导体信息》 2004年第2期3-3,共1页 Semiconductor Information
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