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新型微机电系统探测器

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摘要 由美国田纳西州Knoxville萨康微系统公司和新泽西州Princeton萨诺夫公司开发的新型微机电系统探测器,利用其表面热敏显微悬臂元件阵列,捕获320×240个像素。已取得专利的红外探测器机械原型已在奥兰多举行了产品展示。
作者 郑冬冬
出处 《半导体信息》 2004年第2期38-38,共1页 Semiconductor Information
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