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新型微机电系统探测器
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摘要
由美国田纳西州Knoxville萨康微系统公司和新泽西州Princeton萨诺夫公司开发的新型微机电系统探测器,利用其表面热敏显微悬臂元件阵列,捕获320×240个像素。已取得专利的红外探测器机械原型已在奥兰多举行了产品展示。
作者
郑冬冬
出处
《半导体信息》
2004年第2期38-38,共1页
Semiconductor Information
关键词
微机电系统
萨诺夫
美国田纳西州
萨康
奥兰多
产品展示
微系统
Princeton
红外成像
监视系统
分类号
TN42 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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