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飞利浦与IMEC成功开发出65nm CMOS技术的器件

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摘要 飞利浦和微米及纳米电子研究中心IMEC日前共同宣布,成功制造出具有良好电气性能的65nm CMOS器件。这种65nm技术基于平面90nm bulk CMOS技术缩小版。
作者 刘广荣
出处 《半导体信息》 2004年第3期34-34,共1页 Semiconductor Information
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