我国首条200 mm硅单晶抛光片生产线通过验收

我国首条可满足0.25μm线宽IC需求的200 mm(8英寸)硅单晶抛光片生产线——硅单晶抛光片高技术产业化示范工程日前通过整体验收。业内人士认为,200 mm硅单晶抛光片示范工程项目。