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可采用磨削加工的5μm薄纸般的硅晶片
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摘要
据《Nikkel MicroDevices》报导,通透可见对面的翼薄,如纸般可绵软地弯曲—如此薄的硅晶片是通过研磨加工得到的晶圆,它的厚度只有5μm。目前正在进行量产的最薄的硅基板是用于手机的MCP(多芯片封装)的芯片,厚度为75 μm。尚在开发中的薄片的趋势为35μm和50μm水平。
作者
章从福
出处
《半导体信息》
2005年第5期20-20,共1页
Semiconductor Information
关键词
硅晶片
研磨加工
基板
精磨
最佳配合
加工方法
蚀刻法
树脂材料
摩擦热
粗磨
分类号
TN304.1 [电子电信—物理电子学]
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半导体信息
2005年 第5期
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