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以MEMS开关取代TFT实现驱动基板

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摘要 美国Rolltronics公司开发的FAS witch技术,试图用MEMS技术来取代目前液晶面板中的TFT。该公司利用这一技术来驱动电泳显示器获得成功,05 年5月在美国召开的SID 2005会议上,Rolltronics演示了这一显示器。 FAS witch与TFT相比有可能实现低成本大批量生产。其优势在于:①无需昂贵的真空制膜设备;②超净室清洁度要求比TFT低2-3个量级;③背面薄膜基板可采用卷装进出(roll to roll)方式,而降低成本。其制造成本目标是TFT 基板的1/10。至于可靠性问题,现已确认即使把单个器件进行127万次开关操作也没问题。Rolltronic公司计划在3年后批量生产,力图以基于MEMS技术的FASwitch取代TFT器件。
作者 孙再吉
出处 《半导体信息》 2005年第6期19-19,共1页 Semiconductor Information
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