星团式MBE设备延长摩尔定律进程
出处
《半导体信息》
2006年第4期36-37,共2页
Semiconductor Information
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10韩春林,邹鹏辉,高建峰,薛舫时,张政,耿涛,陈辰.利用空气桥技术实现InP基共振遂穿二极管器件[J].中国电子科学研究院学报,2009,4(5):516-518. 被引量：2
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