提升8英寸工厂自动化水平Crossing Automation在上海发布SMIF标准低成本硅片加载设备

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摘要全球高效低成本自动化解决方案暨工程服务供应商Crossing Automation日前于上海举办的中国半导体设备暨材料展(SEMICON China)中,引进全新系列的标准机械化接口(SMIF)晶圆加载机(LPT),此一系列产品可应用于各类200 mm开放式晶圆匣的制程、量测和检测设备。这些可适应性标准机械化接口晶圆加载机(SMIF-LPT)

作者沈熙磊

出处《半导体信息》 2011年第2期21-22,共2页 Semiconductor Information

关键词工厂自动化 SMIF 低成本自动化半导体设备系列产品加载设备工程服务检测设备量测营销副总

分类号 F426.6 [经济管理—产业经济]

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