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马里兰大学开发新型光阻剂有望实现纳米等级的光刻分辨率

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摘要美国马里兰大学(University of Maryland)的研究团队最近提出一种多光子光阻剂(multi-photon photoresists),能让可见光微影达到纳米等级的分辨率;通常微影分辨率是与曝光时间成反比。该团队新开发的多光子技术简称RAPID(Resolution

作者沈熙磊

出处《半导体信息》 2011年第2期27-28,共2页 Semiconductor Information

关键词光阻马里兰大学多光子技术 MARYLAND 紫外光源 RAPID 成反比激光聚焦曝光时间 PHOTON

分类号 TN305.7 [电子电信—物理电子学]

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