上海硅酸盐研究所自主研发的碳化硅晶体炉开始小批量生产碳化硅晶体

据新华社日前报道,上海硅酸盐研究所20余台具有自主知识产权的碳化硅晶体生产炉已成功稳定生产高质量碳化硅晶体。据碳化硅晶体项目部晶体生长组组长严成锋介绍,自主研制新一代中用晶体炉可以打破发达国家技术垄断,大大提升中国第三代半导体核心材料的自主研发生产能力。