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IMEC利用CMOS工艺制程GaN MISHEMTs

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摘要 欧洲微电子研究中心(Interuniversity Microelectronics Cent。即IMEC)与其合作伙伴共同开发了在200mm硅芯片上生长GaN/AlGaN的技术。借助这项新技术,GaN MISHEMTs(metal-insulator semiconductor highelectron mobility transistors,无金属高电子迁移率晶体管)能够严格按照CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor,互补金属氧化物半导体)
作者 吴琪乐
出处 《半导体信息》 2011年第4期8-8,共1页 Semiconductor Information
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