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应用材料突破性快速热处理技术推动20纳米工艺发展
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摘要
近日,应用材料公司宣布推出Applied Vantage Vulcan快速热处理(RTP)系统,推动最先进纳米级晶体管制造的发展。该系统超越了当前的RTP技术,将退火工艺的精确性和控制性提高到了一个新的水平,为芯片制造商减少了可变性并大幅提高了其高价值高性能器件生产的成品率。
作者
沈熙磊
出处
《半导体信息》
2011年第4期16-17,共2页
Semiconductor Information
关键词
应用材料
纳米工艺
技术推动
芯片制造商
快速热处理
高性能器件
退火工艺
半导体设备
产品事业部
新标杆
分类号
F416.6 [经济管理—产业经济]
TN305 [电子电信—物理电子学]
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