期刊文献+

IMEC计划2015年以后逐步引入450 mm工艺研发能力美国将继续领先下一代半导体制造技术

原文传递
导出
摘要 欧洲半导体工艺研发机构IMEC总裁Luc Van den hove日前透露,IMEC将在2015年以后,有选择地对部分450 mm硅片关键工艺形成研发能力,这些关键工艺包括光刻和晶体管控制栅的制造。
作者 沈熙磊
出处 《半导体信息》 2011年第5期9-10,共2页 Semiconductor Information
  • 相关文献

相关作者

内容加载中请稍等...

相关机构

内容加载中请稍等...

相关主题

内容加载中请稍等...

浏览历史

内容加载中请稍等...
;
使用帮助 返回顶部