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IBM将发布CMOS兼容2 GHz石墨烯IC制造技术

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摘要来自IBM的研究人员将在12月初于美国华盛顿特区举行的年度国际电子器件会议IEDM(International Electron Device Meeting)上,发表与CMOS兼容8英寸晶圆工艺生产石墨烯(Graphene)材料2 GHz倍频RF电路的技术论文。

作者吴琪乐

出处《半导体信息》 2011年第5期15-15,共1页 Semiconductor Information

关键词石墨烯 GHZ IBM IC制造华盛顿特区 Electron 制造技术化学气相沉积电子迁移率技术论文

分类号 TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]

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2011年第5期

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