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基于硅通孔技术的3D IC
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摘要
基于硅通孔(TSV,Through Silicon Via)技术的3D IC是一种系统级架构的新方法,内部含有多个平面器件层的叠层,并经由穿透硅通孔在垂直方向实现相互连接。采用这种方式可以大幅缩小芯片尺寸,提高芯片的晶体管密度,改善层间电气互联性能,提升芯片运行速度,降低芯片的功耗。在设计阶段导入3D
作者
吴琪乐
出处
《半导体信息》
2011年第5期22-23,共2页
Semiconductor Information
关键词
通孔
芯片尺寸
IC
互联性
运行速度
叠层
设计阶段
设计复杂度
芯片面积
芯片功能
分类号
TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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半导体信息
2011年 第5期
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