Kyma公司推高掺杂的n^+型氮化镓体单晶衬底

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摘要美国Kyma公司新推出高掺杂n+型氮化镓体单晶衬底,尺寸为10´10mm-2和18´18 mm-2,同时他们也正在研发直径2英寸的氮化镓衬底,下一步是进入量产阶段。

作者江兴

出处《半导体信息》 2011年第5期34-34,共1页 Semiconductor Information

关键词氮化镓 Kyma 半导体材料垂直结构氮化铝半导体器件功率电子器件晶体材料载流子浓度光电子器件

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2011年第5期

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