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SiC基板厂商纷纷开发6英寸产品

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摘要 晶圆(基板)左右着SiC功率元件的成本和性能。在ICSCRM上可以看到,很多SiC基板厂商都在着手开发口径6英寸(150mm)的产品。现在生产的功率元件SiC基板的最大口径为4英寸(100mm)。将口径增大到6英寸。
作者 沈熙磊
出处 《半导体信息》 2011年第5期43-44,共2页 Semiconductor Information

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