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中电二所“三代半导体碳化硅单晶产业化”项目通过验收

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摘要 11月26日,由太原生产力促进中心管理的"三代半导体碳化硅单晶产业化"项目通过了科技局组织的项目验收。该项目由中国电子科技集团第二研究所承担实施,项目新建厂房5 000 m2,开发研制了碳化硅单晶生长设备40台套,建立了碳化硅单晶生长、加工生产线。
出处 《科技创新与生产力》 2015年第12期36-36,共1页 Sci-tech Innovation and Productivity
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