提高甲苯气体厚膜气敏元件灵敏度的研究

采用溶胶-凝胶方法制备了掺Sb和Pt的SnO2以及WO3纳米级气敏材料,通过厚膜印刷技术制备了SnO2气敏元件和WO3-SnO2双层结构的气敏元件。测量了元件对低浓度甲苯以及乙醇、丙酮气体的气敏性能。测量结果表明,SnO2单层元件对乙醇气体敏感,乙醇气体浓度为100×10-6时元件的灵敏度为45;而WO3-SnO2双层结构对低浓度甲苯气体敏感,甲苯气体浓度为150×10-6时元件的灵敏度为16,大于该元件对乙醇气体的灵敏度。