谈谈SiO_2的浮选

前言在半导体器件的研制过程中,硅单晶片的抛光是一个极为重要的工艺环节;抛光质量的优劣直接影响着器件的成品率和优品率。采用 SiO2抛光的镜面质量好,机械损伤少,因此这种工艺得到了迅速的发展和应用。