面阵CCD图像传感及信号处理器

选用三层三相多晶硅交迭栅结构,采用埋沟工艺研制出了512×320位CCD帧传输固体图像传感器。它也可作各种用途的数字信号处理器。本文就器件设计考虑和工艺参数作了简介。