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全域f函数及其直观表达式 被引量:1

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摘要 用Van der Pauw法测量半导体电阻率时,ρ值用下式计算:ρ=πW/ln2·(R1+R2)/2·f(R1/R2)(1)式中R1(?)RAB·CD= VDC/IAB,R2(?)RBC·DA=VAD/IBC,W是被测样品厚度,而f(R1/R2)函数具有下列形式:
作者 宿昌厚
出处 《半导体技术》 CAS 1987年第3期41-44,共4页 Semiconductor Technology
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