大规模集成电路生产技术的环境控制

一、引言众所周知,集成电路在制造过程中环境好坏将直接影响产品成品率和产品性能。然而具体地讲究竟应怎样为好尚没有取得一致的意见。况且,所谓环境,包括使用的原材料、化学药品的纯度类别等等,范围既广泛又繁杂,不能简单地一概而论。本文只对与器件制造有直接关系的诸如净化室、净化台等净化设备使用的气体,特别是大量消耗的氧气。