TEL集团向英飞凌提供SiC外延设备

TOKYOELECTRON LIMITED（简称"TEL集团"）向英飞凌公司提供SiC外延设备Probus-SiCTM,用于最先端SiC功率器件的量产。Probus-SiC可以进行6英寸及以下成膜处理,具有自动搬运功能和多反应腔体功能,可达到最优装置性能和生产能力。