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日本九州工大:用新型微细构造将IGBT电流密度提高一倍
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摘要
硅(Si)功率元件虽然价格便宜,但性能方面的上升潜力比以前要小了。其中,在600V以上耐压下使用的IGBT,其性能的改善和提高量产性开始遭遇极限。在性能方面逐渐触顶的方面是如何降低导通电阻和提高电流密度。量产性方面,也难以采用直径超过8英寸的硅基板。
作者
赵佶
出处
《半导体信息》
2013年第2期14-15,共2页
Semiconductor Information
关键词
电流密度
导通电阻
IGBT
功率元件
提高量
微细化
热处理工序
载流子密度
日本九州
基板
分类号
TN305 [电子电信—物理电子学]
F416.63 [经济管理—产业经济]
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