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日立化成开发出可蚀刻SiN的浆料用于太阳能电池等领域

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摘要日立化成开发出了可蚀刻氮化硅(SiN)的浆料,并在第12届国际纳米技术综合展(nano tech 2013)上展出。只要利用丝网印刷工艺使该浆料成形,便可只去除浆料下面的SiN。日立化成的目标是将这种浆料用于太阳能电池及MEMS制造工序等。在结晶硅型太阳能电池的制造工序中。

作者郑冬冬

出处《半导体信息》 2013年第2期24-24,共1页 Semiconductor Information

关键词 SIN 硅电池制造工序结晶硅丝网印刷工艺纳米技术氮化硅反射膜综合展单元的

分类号 TM914.4 [电气工程—电力电子与电力传动] F416.6 [经济管理—产业经济]

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2013年第2期

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