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日商Air Water量产全球最大尺寸SiC基板

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摘要日商AirWaterInc.近日宣布,已成功研发出可生产全球最大尺寸的"碳化硅"(SiC)基板量产技术,借由该技术所生产的SiC基板尺寸可达8英寸(现行主流为4英寸)。AirWater表示,已投下约20亿日圆于安昙野工厂内整备出月产2。

作者郑冬冬

出处《半导体信息》 2013年第3期7-8,共2页 Semiconductor Information

关键词 AIR WATER SIC 最大尺寸日商基板电源控制日经至数

分类号 TN304.24 [电子电信—物理电子学]

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2013年第3期

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