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美国研究团队开创二维半导体加工技术新局面
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摘要
美国能源部ORNL国家实验室的研究者们将一种新型合成工艺和商用电子束光刻技术结合起来,在单一纳米级厚度的半导体晶体内实现了一种随机图案的二维半导体异质结阵列。该工艺主要技术是将目前采用的单层晶体的图形区域改造成其他形态。研究者们首次在衬底上生长出了单层纳米级别厚度的MoSe2晶体。
作者
科信
出处
《半导体信息》
2015年第5期33-35,共3页
Semiconductor Information
关键词
二维半导体
半导体晶体
纳米级别
电子束光刻
美国能源部
随机图
异质结
加工技术
光刻技术
合成工
分类号
TN305 [电子电信—物理电子学]
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