金属颗粒烧结型流导性能研究初探

通过实验的方法研究了粒径在1μm以下的不锈钢金属颗粒烧结成的流导元件特性。该种形式流导在上游压力为10kPa下即可进入分子流区域，且上游压力在100Pa～100kPa范围内流导值变化只有10％。流导元件的温度系数约0．2％／K。在分子流状态下，不同气体的流导值之比与气体分子量平方根之比成反比，但有一定的偏差。这些特性使得金属颗粒烧结型流导在真空漏率校准装置、动态流导法真空校准装置及真空分压力校准装置中具有广泛的应用价值。