电容式MEMS加速度计系统建模与仿真

针对单支点摇摆式加速度计的敏感结构设计了相应的信号处理测控系统，利用Matlab Simulink仿真工具分别对敏感结构和测控系统模块进行了建模。重点分析了一些非理想因素对系统的影响。仿真结果表明，加速度计系统采用闭环控制系统的性能要优于开环控制系统的功能，稳定时间更短，提高了系统的稳定性。