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国产碳化硅实现量产或将替代单晶硅
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摘要
近日,我国自主研制的又一款4英寸高纯半绝缘碳化硅衬底产品问世。据报道,该碳化硅项目由山东天岳研制而成的。中国电子材料行业协会组织的专家认为,该成果国内领先,已达到国际先进水平。此前,北京天科合达与中科院合作,成功研制了从2英寸到6英寸的碳化硅衬底,完成了我国碳化硅半导体从无到有的过程。如今,我国第二家企业也实现了碳化硅材料大规模量产,标志着我国碳化硅材料发展逐渐走向成熟。
出处
《集成电路通讯》
2015年第4期35-35,共1页
关键词
碳化硅衬底
单晶硅
国产
碳化硅半导体
碳化硅材料
自主研制
行业协会
电子材料
分类号
TN304.24 [电子电信—物理电子学]
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集成电路通讯
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