在砷化镓铟晶体管中应用高压退火技术

美国和韩国的研究者们研发了一种在氢气下的高压退火工艺，应用于铟镓砷量子阱上的AlzO3／HfO3栅堆叠。该项研究的目的在于减少界面和边界处的陷阱，减轻它们对晶体管性能和阈值电压可靠性的负面影响。