MEMS触觉传感器国内外研究现状与发展趋势

微小型化是当今技术领域发展的重要趋势之一,传感器技术是现代科学技术发展水平的重要标志,它与通信、计算机技术构成现代信息产业三大支柱。触觉传感技术是实现智能机器人技术关键因素之一,其发展对智能机器人具相当重要意义,其广泛应用一直备受学者们关注,尤其在生物医药、食品加工等应用非常广泛。许多国家均不同程度花费大量人力、物力和财力从事触觉传感器的研究。