毛细管柱气相色谱法测定氢气中的氯化氢

多晶硅生产中,干法回收氢气作为原料还原剂和载流气体，若其中氯化氢含量高，则在多晶硅生产过程的前期可能出现倒炉现象，后期可能出现磷超标现象，严重影响多晶硅的质量。因此需对回收氢气中的氯化氢进行测定。