摘要
不同工艺薄膜气敏元件的灵敏度存在最佳灵敏度的膜厚詛＊（1000魡~2000魡）差异;采用复合绝缘膜Si/Si O2/Al2O3衬底;采用薄膜的粉末溅射和研制薄膜气敏元件的工艺流程。
There is film thickness difference of optimal sensivity of Fillm Air-sensitive Device with different technology： Adopt compound insulating film Si/SiO2/Al2O3 substrate; Adopt the process of powder sputtering of thin film and research of thin film gas-sensors.
出处
《科技视界》
2016年第5期118-118,137,共2页
Science & Technology Vision
关键词
薄膜
气敏
研究
Thin film
Gas sensor
Research
