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一种激光直写机特殊样品套刻的样品台

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摘要 介绍了一种激光直写机特殊样品套刻的样品台,解决了以往激光直写对薄片和小片套刻的不便,提高了对特殊样品套刻的精度和效率。
出处 《高校实验室工作研究》 2015年第4期129-131,共3页
基金 "兰州大学中央高校基本业务费资助" "兰州大学磁学与磁性材料教育部重点实验室开放课题资助"(项目编号:LZUMMM2015008)

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