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日本企业推出直径仅1cm的六轴力觉传感器

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摘要 13本信号株式会社推出了基于微机电系统(MEMS)技术的超小型六轴力觉传感器。其采用该公司研发的电磁驱动式MEMS光扫描仪“ECOSCAN”的技术经验,主要用于机器人和计量测量仪器领域。
作者 日经
出处 《军民两用技术与产品》 2016年第1期40-40,共1页 Dual Use Technologies & Products
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