电化学微细加工技术的研究进展

下载PDF

导出

摘要介绍了微细电化学加工的原理及其特点,系统地阐述了微细电化学加工在几个方面的研究情况和工艺特点,例如EFAB工艺、3D电化学加工、约束刻蚀剂层技术等。微细电化学加工必将在未来的微纳加工中起着举足轻重的作用。

作者李凤云

机构地区南昌航空大学

出处《江西化工》 2016年第1期1-3,共3页 Jiangxi Chemical Industry

关键词微细加工EFAB工艺 3D电化学加工复杂三维结构

参考文献6

1Cohen A, Frodis U, Tseng FG, et al. Micromachining and Microfabrieation Process Technology V [J]. ( Eds: Smith JH, Karam JM ), BeUingham: SPIE - Int Soc Op- tical Engineering, 1999,3874:236 - 247.
2SchusterR, KirchnerV, AllongueP, ErtlG. Electrochemi- cal Micromachining [J]. Science, 2000,289 ( 5476 ) : 98 - 101.
3Allongue P, Jiang P, Kirchner V, et al. Electrochemical micromachining of p - type silicon[J]. J. Phys. Chem. B,2004,108(38) :14434 - 14439.
4Schuster R,Kirchner V,Xia X H,et al. Nanoscale E- lectrochemistry[J]. Phys. Bey. Left, 1998,80 ( 25 ) : 5599 -56O2.
5Schuster R. with Short Voltage Pulses [J]. Chem Phys Chem, 2007,8 ( 1 ) : 34 -39.
6Kirchner V, Cagnon L, Schuster R, et al. Electrochemi- cal machining of stainless steel microelements with ul- trashort voltage pulses[J]. Appl. Phys. Lett,2001,79 (11) :1721 - 1723.

江西化工

2016年第1期

内容加载中请稍等...