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中芯国际28nm HKMG工艺成功流片

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摘要 2016年2月16日，中芯国际集成电路制造有限公司（中芯国际／SMIC）宣布，28nm HKMG（高介电常数金属闸极）工艺已经成功流片。中芯国际是中国大陆第一家能够同时提供28nm PolySiON（多晶硅）、28nm HKMG工艺的晶圆代工企业。

出处《上海信息化》 2016年第3期91-91,共1页 Shanghai Informatization

关键词中芯国际集成电路制造有限公司工艺高介电常数中国大陆晶圆代工多晶硅

分类号 TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]

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上海信息化

2016年第3期

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