摘要
应用材料公司发布两款新系统:AKT-20KTMTFEPECVD和AppliedAKT-40KTMTFEPECVD,主要面向高解析度、轻薄型电视和移动设备的柔性OLED显示屏幕的批量生产,能有效沉积薄膜封装阻隔层,对保护敏感性极高的OLED器件具有重要意义,成为材料工程领域的又一项重大突破。这两款新系统能帮助显示器制造商替代设备前方的刚性绝缘玻璃,开发出适用于新一代消费电子产品的可弯曲的和曲面显示屏。
出处
《集成电路应用》
2015年第12期44-44,共1页
Application of IC