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9产品名称：90—65nm大角度离子注入机

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摘要研制单位：北京中科信电子装备有限公司产品介绍： 90～65nm大角度离子注入机是“十一五”期间实施的“极大规模集成电路制造技术及成套工艺”国家科技重大专项中的项目之一。该设备分为束线、靶室、电气、辅助、控制5大系统，共82个子系统，

出处《电子工业专用设备》 2016年第2期49-50,共2页 Equipment for Electronic Products Manufacturing

关键词离子注入机大角度产品名称大规模集成电路 “十一五” 研制单位电子装备产品介绍

分类号 TN305.3 [电子电信—物理电子学]

引文网络
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电子工业专用设备

2016年第2期

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