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史陶比尔:TS 60 SCARA机器人创新应用于光伏产业

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摘要 太阳能电池的制造过程中,晶片要经历各种湿化学工艺。在进入半导体清洗装置前后,这些薄硅片都是由机器人进行操作的。在此对需求给出清晰定义:为了得到高生产力,保证最低破损率下的最短周期是个困难的问题,只能通过使用最高水平的机械自动化来实现。
出处 《电子工业专用设备》 2016年第2期65-67,共3页 Equipment for Electronic Products Manufacturing
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